微电子机械系统(MEMS)传感器在汽车和消费类产品中的应用

摘要：

过去十多年来,微系统技术(MicroSystem-Technology/MST)已被证实是行业生存的基础。迄今为止,这个行业仍被汽车领域所主导,正促成对各种不同应用的大量需求,如用于发动机控制的压力传感器、针对约束系统应用或底盘控制的加速度传感器、用于车辆动力和翻车感测的偏航率传感器(yaw rate sensor)等等。

关键词： 微电子机械系统 微系统技术 汽车传感器

作者: Von Janecek,Hubertus

作者单位: 博世传感器公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国国际表面贴装和微组装技术大会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 370-375

在线出版日期: 2007-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）