一种基于Web服务的半导体制造系统的通信模型

摘要：

介绍一般半导体制造系统的结构及其信息交互方式,提出一种基于Web Service技术上的通信模型,讨论其结构组成并探讨了其相关特点。给出该模型在某刻蚀机生产系统中的一个应用,并对实际生产效果做出了分析。同时提出Web Service在工业控制领域的发展的未来的工作方向。

关键词： Web Service 面向服务 半导体制造系统 智能体 通信模型 刻蚀机 工业控制

作者: 丁力 徐华 王家廞

作者单位: 清华大学,计算机科学与技术系,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国智能自动化会议

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 1101-1105

在线出版日期: 2007-08-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）