基于体绘制技术的虚拟光刻系统建模与实现

摘要：

本文提出了基于体绘制技术的虚拟光刻系统.该系统支持BMP格式掩膜图形输入,拥有完整的衍射和驻波模型。与其他光刻模拟器相比,本系统最大的特点是实现了仿真结果的三维可视化,并支持旋转、剖切等交互式操作,使用户能够更好地观察光刻胶内部结构.

关键词： 虚拟光刻 体绘制 驻波模型 光刻模拟器

作者: 张启程 孙广毅 赵新 王俊伟 金纯 卢桂章

作者单位: 南开大学机器人与信息自动化研究所,天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第26届中国控制会议

会议地点: 湖南张家界

会议语种:中文

页码: 783-786

在线出版日期: 2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）