基于学习控制的AFM 快速扫描模式研究
本文针对原子力显微镜系统,提出了一种基于学习控制的快速扫描模式。具体而言,首先构造了一种适用于AFM的学习控制系统,它由对于扫描管动态特性的最优逆控制补偿器和对于样品表面特性的学习算法两部分组成。然后,针对样品测量过程中,扫描线之间出现的偏移问题,通过将常见的比例-积分控制算法与这种学习控制系统相结合,实现了一种基于学习算法的快速扫描模式。对于具有周期性特点的样品而言,采用这种模式对其进行扫描,可以显著提高测量的速度和精度,并且将样品与探针针尖的距离控制在一个合适的范围之内,以避免损坏样品或探针.因此,这种快速扫描模式可以用于实现对快速生物过程的实时监测,同时也可以用来完成重复刻写等纳米操作。
原子力显微镜 快速扫描模式 最优逆控制 测量精度
方勇纯
南开大学机器人与信息自动化研究所,天津300071
国内会议
湖南张家界
中文
815-819
2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）