羰基金属配合物MOCVD工艺的应用研究

摘要：

羰基金属配合物作为一种MOCVD前驱体，除毒性较大外，其优点十分突出:沉积温度低，沉积速度快，沉积膜纯度高，膜层致密，膜表面的光洁度好，设备简单等等。本文对目前国内外羰基金属配合物的MOCVD工艺技术的应用研究状况进行简要综述。

关键词： 羰基金属配合物 金属有机化学气相沉积 MOCVD 金属膜 沉积温度

作者: 李一 聂俊辉 石文 柳学全 贾成厂

作者单位: 中国钢研科技集团公司,北京,100081 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007全国粉末冶金学术及应用技术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 463-466

在线出版日期: 2007-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）