超声电沉积制备Cu-In合金膜

摘要：

采用超声电沉积方法在钼基底上制备了Cu/In双层膜,经过随后的热处理得到了致密的Cu-In合金薄膜.用SEM分析了超声对表面形貌的影响,用XRD研究了薄膜的相组成。结果表明:采用不同的电沉积工艺参数可以调节合金膜的Cu/In比率；超声电沉积可以得到晶粒细小、均匀致密的Cu、In薄膜；电沉积得到的双层膜为CuIn和Cu或In相,经过热处理后转变为CullIn9和Cu或In相.

关键词： 超声电沉积 铜铟合金薄膜 表面形貌 铜铟比率

作者: 王延来 聂洪波 倪沛然 果世驹 尚升 杨永刚 赵明

作者单位: 北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083 无锡爱芯科微电子有限公司,无锡,214028

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007全国粉末冶金学术及应用技术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 234-239

在线出版日期: 2007-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）