ZnS薄膜的制备与表征

摘要：

以硫酸锌、(NH4)2S2O3混合溶液为前驱体溶液,加入少量的柠檬酸钠和丙三醇为络合剂为分散剂,采用化学浴沉积法在玻璃村底上成功制备了表面均匀的ZnS薄膜.研究了沉积时间和退火时间对ZnS薄膜质量的影响,并运用SEM、XRD、紫外-可见光光度计对薄膜进行分析和表征.结果表明:在沉积时间为90min,退火温度为200℃时制得的薄膜性能较好,晶体结构为纤锌矿结构.制备的薄膜透过率(λ＞400nm)约为80％,禁带宽度约为3.75ev.通过添加少量的分散剂丙三醇可以改善ZnS薄膜质量,退火温度为300℃,薄膜表面形貌均匀致密.

关键词： 锌化硫薄膜 化学浴沉积法 薄膜质量 分散剂

作者: 王世成 果世驹 倪沛然 聂洪波 王延来

作者单位: 北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083 无锡爱芯科微电子有限公司,无锡,214028

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007全国粉末冶金学术及应用技术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 219-223

在线出版日期: 2007-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）