基于压电扫描管动态特性分析的AFM成像方法研究

摘要：

原子力显微镜(AFM)是纳米技术和纳米操作领域中强有力的工具.本文针对扫描成像的原子力显微镜,提出了一种基于压电扫描管动态特性的AFM 成像方法,有效地提高了AFM 在Z 方向上的成像精度。具体而言,论文首先介绍了原子力显微镜当前的成像方法,然后针对AFM 在高速扫描下成像误差大的缺点。提出了一种基于压电扫描管动态特性的改进成像方法,并从理论上对这种成像方法的性能进行了分析,论文最后利用实验数据验证了本文提出的成像方法的性能。

关键词： 原子力显微镜 扫描成像技术 压电扫描管 动态特性 纳米技术 成像精度

作者: 董晓坤 方勇纯 周娴玮 张玉东

作者单位: 南开大学信息技术科学学院,天津300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第26届中国控制会议

会议地点: 湖南张家界

会议语种:中文

页码: 404-408

在线出版日期: 2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）