半导体装备控制系统公共IO服务接口研究

摘要：

半导体装备控制系统中，不同技术、多种通信标准的输入、输出控制方法共存，给控制系统的实现带来很大的麻烦.本文提出了一种基于统一架构的公共IO服务接口方法，为控制系统应用不必考虑具体通信技术细节而达到操作上的一致性提供一种思路。

关键词： 公共IO服务 半导体装备 现场总线 控制系统 接口 通信标准

作者: 刘明哲 徐皑冬 康凯

作者单位: 中国科学院沈阳自动化研究所,沈阳,110016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 秦皇岛·北戴河

会议语种:中文

页码: 752-754

在线出版日期: 2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）