多参量MEMS气体质量流量计

摘要：

介绍多参量MEMS气体质量流量计的原理、性能和应用.该流量计采用MEMS流量芯片作为一次传感的核心部件，并配以专门的低功耗二次智能仪表，具有超大量程、微功耗、无压损、小流量灵敏、响应时间快及易于远传和网络化管理等优点，相信该流量计会有很广阔的应用前景.

关键词： 多参量 智能仪表 流量计 工业仪表

作者: 黄立基 范德林

作者单位: 美国矽翔微机电系统有限公司,上海,200233

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届工业仪表与自动化学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 146-148

在线出版日期: 2006-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）