硅基热温差式微气体流量传感器的检测系统设计

摘要：

在微流控系统检测中，被测样品的进样量已达到微升或纳升级，同时MEMS技术迅速发展使在硅衬底上制作微流控芯片得以实现.因此，硅基微流量传感器的研究已经成为分析仪器发展的重要研究内容之一.本文利用硅基微流量传感器内部的金属薄膜作为温度传感器和加热器，设计了以单片机为核心的热温差式微气体流量检测系统.该微气体流量检测系统实现了微气体流量的检测，其测量范围是1.5 μl/min-300μl/min.

关键词： 气体流量传感器 金属薄膜 单片机 微流控系统

作者: 薛宁 闫卫平 马灵芝

作者单位: 大连理工大学电子与信息工程学院,大连,116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 秦皇岛·北戴河

会议语种:中文

页码: 16-19

在线出版日期: 2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）