基于ANSYS的CMOS湿度传感器电极研究与设计

摘要：

结合CMOS工艺对湿度传感器电极的要求，针对三种常见的电极，使用ANSYS软件建立了有限元分析模型.考察了三种不同形状的电极在相同条件下，极板间电容的大小和电场分布情况，并对仿真结果进行分析比较，设计了一款适合CMOS湿度传感器的叉指电极.

关键词： 电极 有限元分析 湿度传感器 电场分布 ANSYS软件 CMOS工艺

作者: 杜鹏 王兢 张鹏

作者单位: 大连理工大学电信学院,大连,116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 秦皇岛·北戴河

会议语种:中文

页码: 14-15

在线出版日期: 2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）