基于机器视觉的晶圆缺陷检测的研究

摘要：

基于机器视觉的晶圆缺陷检测系统是为了实现晶圆宏观缺陷的检测和分类而进行的一项研究课题.由CCD器件采集图象后，通过数字图像处理完成了晶圆缺陷的检测和分割，为以后的缺陷分类作好准备.实验证明，设计的检测系统专业性强，具有一定的应用价值.

关键词： 晶圆 机器视觉 图像处理 缺陷检测

作者: 曾臻 戴曙光 穆平安

作者单位: 上海理工大学光电学院,上海,200093

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 秦皇岛·北戴河

会议语种:中文

页码: 191-194

在线出版日期: 2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）