飞秒激光烧蚀半导体材料的能量传输过程与力学效应和阈值效应

摘要：

本文为了研究飞秒激光的烧蚀机理，从实验和分子动力学模拟的角度分析了飞秒激光烧蚀半导体材料的能量传输过程以及烧蚀过程的力学效应和阈值效应.认为在能量传输过程中，电子崩电离和多光子电离是飞秒激光烧蚀过程中材料吸收光子，产生自由电子的主要机制，并总结了分子动力学模拟中材料对激光能量吸收过程的描述方法；认为热应力是由激光能量的较大空间梯度导致的介质快速、不均匀膨胀引起的，且只有当激光能通量大于阈值能通量F0时烧蚀现象才会发生.

关键词： 半导体材料 飞秒激光烧蚀 能量传输 烧蚀阈值 热应力

作者: 王丽梅 曾新吾

作者单位: 国防科技大学理学院,湖南,长沙,410073 国防科技大学光电科学与工程学院,湖南,长沙,410073

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国冲击动力学学术讨论会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 323-328

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）