大口径光学镜面子孔径拼接检测技术

摘要：

对大口径光学元件的加工质量进行监控，目前主要采用小孔径干涉仪拼接检测的方案，这种方法既保留了干涉检测的高精度，又避免了大口径干涉仪产生的高成本.本文回顾了子孔径拼接干涉检测技术的发展过程，对现阶段国内外该技术的主要应用与研究现状进行了详细的介绍.最后对子孔径拼接检测技术的发展趋势进行了一定的分析.

关键词： 子孔径拼接 光学元件 干涉检测 干涉仪 拼接检测

作者: 张蓉竹

作者单位: 四川大学电子信息学院,四川成都,610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国科协年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 657-661

在线出版日期: 2006-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）