SiC非球面反射镜的加工

摘要：

简要介绍了碳化硅(SiC)非球面反射镜的特点和应用领域.结合SiC反射镜加工实例，建立了SiC非球面反射镜的加工工艺路线，详细分析了各加工阶段的加工方法和关键技术:在铣磨成型阶段，给出了非球面磨削成型的加工方式、教学模型、工艺参数和精度补偿方法；在研磨抛光阶段，给出了确定量研抛技术--计算机控制光学表面成形技术的工作流程和工艺参数.最后，给出了现存SiC非球面反射镜加工中的实际问题及可能解决的方案.

关键词： 机械电子工程 非球面反射镜 研磨抛光 碳化硅 磨削成型 表面成形

作者: 周旭升 康念辉 李圣怡

作者单位: 国防科技大学机电工程与自动化学院机电工程系,湖南长沙,410073

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国科协年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 639-645

在线出版日期: 2006-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）