大口径非球面环形子孔径检测技术的关键问题分析

摘要：

本文对大口径非球面环形子孔径检测技术的原理进行了介绍，讨论了该技术应用于大口径非球面镜检测时需要解决的几个关键问题。

关键词： 光学测量 干涉计量 相移干涉仪

作者: 侯溪 伍凡 杨力 陈强

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,四川成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院光电技术研究所,四川成都,610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国科协年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 528-531

在线出版日期: 2006-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）