水溶性光致抗蚀剂研究进展

摘要：

本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结.重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.

关键词： 光致抗蚀剂 化学增幅 光化学反应 成像原理

作者: 翟晓晓 褚战星 王力元

作者单位: 北京师范大学化学学院,北京,100875

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国科协年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 268-276

在线出版日期: 2006-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）