相移算法振动误差分析

摘要：

在对光学元件面形进行检测和光学系统成像质量的评价中，移相干涉测量技术有着广泛的应用.但是，光学干涉仪的测量精度对环境的要求非常苛刻，环境的振动和空气的扰动会对测量结果产生很大影响.本研究对相移干涉技术中振动因素造成的位相测量误差进行了分析讨论，比较了不同的PSI(phase-shifting interferometry)算法对于振动的敏感性大小，并且对位相测量误差RMS值分布反映出来的一些现象进行了深入探讨.

关键词： 干涉检测 相移算法 振动误差 傅立叶分析 位相测量 光学干涉仪 测量精度

作者: 何祖斌 邓燕 徐建程 许乔 柴立群

作者单位: 成都精密光学工程研究中心,四川成都,610041

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国科协年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 633-638

在线出版日期: 2006-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）