大型非球面主镜三坐标测量及数据处理
介绍了一种大型非球面三坐标的测量和原始检测数据的处理方法，对用该方法产生的测量误差进行了分析.对原始测量数据先后进行补偿处理、单条径线倾斜和偏移剔除处理，再将处理后的数据用Gram-Schimdt正交化拟合出Zernike多项式的系数，然后剔除Zernike多项式的系数的倾斜项和常数项，最终处理得到了主镜的检测面形.为验证该测量和数据处理方法，比较了同一块主镜的三坐标检测面形和Hartmann-Shack波前传感器的检测面形，两者测量面形基本吻合，虽然两种测量方法得到的面形误差的峰谷值和均方根值分别存在着0.68λPV和0.02λRMS的偏差，但该方法用于主镜粗磨、精磨和抛光初期的三坐标测量是行之有效的.
光学加工 非球面主镜 三坐标测量 数据处理
范斌 伍凡 万勇建 杨力 曾志革
中国科学院光电技术研究所,四川成都,610209
国内会议
北京
中文
554-559
2006-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）