微晶玻璃定偏心浸液式超光滑表面抛光的工艺实验

摘要：

超光滑表面在现代工业和国防领域的应用越来越多，但由于其对加工工艺和环境以及设备的要求苛刻，使得超光滑表面的获得还存在较大难度.针对激光陀螺反射镜常用微晶玻璃的加工工艺，本文介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法--定偏心浸液式抛光，采用这种方法进行多次微晶玻璃超光滑表面的工艺实验，稳定地获得了埃量级的超光滑表面，精度可达平面度PV0.041μm/φ60mm，表面粗糙度Ra0.32nm.

关键词： 微晶玻璃 超光滑表面 定偏心浸液式抛光 抛光工艺

作者: 杨志甫 杨辉 刘祎 房建国

作者单位: 北京航空精密机械研究所,北京,100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国科协年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 626-632

在线出版日期: 2006-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）