單晶金剛石抛光研究

摘要：

单晶金刚石被广泛应用于超精密加工工具、电子探针和光电子领域.抛光金刚石是获得光滑无缺陷金刚石表面的基本手段.本文全面介绍了单晶金刚石抛光机理和抛光工艺的研究进展.分析了磨粒机械破碎、机械-化学去除、机械-热化学去除、氧化化学和机械-电去除等理论,对提高金刚石及金刚石薄膜的平整抛光效率和质量有较高的参考价值.

关键词： 金刚石 抛光机理 超精密加工 电子探针 光电子

作者: 王成勇

作者单位: 廣東工業大學機電工程學院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届海峡两岸制造技术研讨会

会议地点: 辽宁大连

会议语种:中文

页码: 278-284

在线出版日期: 2001-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）