具有納米指零系統的激光干涉儀

摘要：

根据四层介质表面等离子体波共振(SPR)结构中透射光强随空气层厚度变化的特性建立了新颖的纳米定位指零系统.利用特殊设计的四面体棱镜把SPR纳米定位装置与干涉仪整合起来以减少干涉仪的累积漂移误差.实验表明,在0.5℃/hour 恒温条件下,SPR纳米定位系统20分钟内的定位重复性标准偏差可以达到4nm,分辨率爲0.1nm/nV;干涉仪的测量不确定度从70nm减少到10nm.

关键词： 纳米定位 表面等离子体共振 特殊四面体棱镜 激光干涉仪

作者: 吳健 閆聚群 殷純永

作者单位: 北京清華大學精密儀器與機械學系,精密測量技術與儀器國家重點實驗室,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届海峡两岸制造技术研讨会

会议地点: 辽宁大连

会议语种:中文

页码: 206-211

在线出版日期: 2001-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）