日本微機電系統(MEMS)研究現狀

摘要：

本文介绍了日本微机电系统的发展现状.分析了该技术发展的背景,基础技术,应用领域,面临的问题以及今后发展的趋势.

关键词： 微机电系统 微机械加工 传感器

作者: 莊慶德 王善慈

作者单位: 河北科技大學信息學院,石家莊 信息産業部電子第49所,哈爾濱

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届海峡两岸制造技术研讨会

会议地点: 辽宁大连

会议语种:中文

页码: 183-191

在线出版日期: 2001-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）