超精密光學聚焦探頭的研製
本研究发展出一套低成本、高精度的雷射自动聚焦探头系统.针对目前市售的光碟机(CD-ROM or DVD-ROM)或光碟音响(CD-PLAYER or DVD-PLAYER)内之光学读取头(Pickup head)的聚焦行爲进行研究.当待测物反射面不在读取头物镜的聚焦面时,经由感测器可得一失焦讯号.将感测器侦测到的失焦讯号经过放大及补偿处理後,进入推挽功率放大器回授驱动音圈马达,带动物镜重回聚焦平面而完成自动聚焦.由於音圈马达的驱动电流(事实上就是由伺服失焦讯号转换而来)与物镜的位移量,在数百微米的范围内呈现一对一的线性关系,并具有高度重复性,因此在物镜锁住工件表面的自动聚焦情况下,经由音圈马达驱动电流的强度,即可读取工件表面量测点的位置,进而了解工件表面的轮廓分布甚至是粗糙度.此探头系统具有200μm的量测范围,准确度达0.2μm.
雷射读取头 自动聚焦 音圈马达 失焦讯号 光碟机
范光照 朱志良 林威自
台灣大學機械系
国内会议
辽宁大连
中文
136-145
2001-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）