微進様技術研究動態及發展趨勢

摘要：

微进样技术广泛应用到微量化学分析和生物医学领域,是微流体系统的重要研究内容.本文介绍了微进样系统的含义、特点和应用,总结了微进样的驱动方式、进样精度和制造方法,对目前研制微进样系统中的关键技术进行综述和分析.

关键词： 微进样技术 微机电系统 进样方法 微流体系统 进样精度

作者: 王立鼎 徐征 劉冲

作者单位: 大連理工大學機械工程學院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届海峡两岸制造技术研讨会

会议地点: 辽宁大连

会议语种:中文

页码: 129-135

在线出版日期: 2001-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）