氮氢混合气在电子器件生产中的应用

摘要：

在电子器件生产中,广泛地使用各种高纯度气体,按生产过程中高纯气体的用途不同,可将高纯气分为保护气体、反应气体和运载气体. 本文主要阐述从美国西屋公司引进的真空开关管主要设备使用的氮氢混合气研制及应用情况并在本厂其它生产车间作为保护气而推广应用的情况，以供同行借鉴。

关键词： 氮氢混合气 电子器件生产 高纯气体 氢氧站 保护气体

作者: 赵胜利

作者单位: 七七七动力分厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工业气体工业协会2000年年会

会议地点: 杭州、上海

会议语种:中文

页码: 203-205

在线出版日期: 2000-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）