电子工业中的纳米粒子

摘要：

本文讨论了电子工业芯片微芯化中纳米技术的机会.半导体工作电压的降低及在多层陶瓷电容器((MLCC)中生产高体积效率的需求导致这些配件的绝缘层厚度的大幅减少和层数的急剧增加.这种趋势的结果大大增加了对如BaTiO3绝缘粉,电极金属粉末和化学机械平面化浆泥的需求.本文对生产纳米BaTiO3合成方法的优点和挑战性进行了简短评述。

关键词： 电子工业 纳米粒子 电子工业芯片 多层陶瓷电容器 BaTiO3绝缘粉 电极金属粉末 绝缘体

作者: 奉向东

作者单位: 中国原子能研究院;湖南师范大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 东钱湖论坛第二次会议-纳米材料与产业化研讨会

会议地点: 浙江宁波

会议语种:中文

页码: 109-124

在线出版日期: 2002-07-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）