Al2O3电容式露点仪湿度的在线测定

摘要：

本文对Al2O3电容式露点仪湿度的在线测定进行了探讨。文章介绍了净化气体中微量水分的检测概况，对AI2O3电容式露点仪测量中进行了误差分析，对露点测量中经常碰到的问题进行了研究。

关键词： 气体净化 净化检测 露点监测仪

作者: 毛平天 陆新根 殷家忠

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工业气体工业协会2002年年会

会议地点: 广东番禺

会议语种:中文

页码: 62-63

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）