纳米硅管

摘要：

使用模板和化学气相沉积技术,我们成功获得纳米硅管.其直径约为60纳米,长度约为5微米.管壁结构大部分为多晶.

关键词： 纳米硅管 纳米材料 化学气相沉积技术

作者: 沙健 牛俊杰 马向阳 张孝彬 徐进 杨青 杨德仁

作者单位: 浙江大学物理系;浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学材料科学与工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 东钱湖论坛第二次会议-纳米材料与产业化研讨会

会议地点: 浙江宁波

会议语种:中文

页码: 208-211

在线出版日期: 2002-07-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）