悬浮分子污染的解决方案——一种新颖的玻纤过滤介质

摘要：

目前半导体和磁盘驱动器洁净室担心的最大的问题是悬浮分子污染.悬浮的分子污染包括酸、碱、凝聚化合物和搀杂剂,它们导致许多半导体在生产步骤中产量的减少,如预氧化、硅铝化、触点成型和深紫外线光学微影术.随着线性尺寸逐渐变小,分子污染的影响更大了.这篇文章将回顾一下工业上传统的解决悬浮分子污染的方法,并且讨论一种新开发的迎合新工业要求的微细玻璃纤维滤材。

关键词： 悬浮分子污染 玻纤过滤介质 洁净室 半导体生产

作者: Mary E. Pierce

作者单位: 贺林斯渥与佛斯公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国国际过滤材料研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 315-320

在线出版日期: 2002-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）