洁净室空气过滤器的设计与测试

摘要：

除了用于传统的徽电子行业外，洁净室过滤器应用越来越广泛，洁净室过滤器不注重其容量，而更加重视对于在特定粒子渗透和其它特定应用需要如分子沾染，不同于一般HVAC过滤器，洁净室过滤器期望其寿命与洁净室保持同步。过滤器的设计与颗粒尺寸密切相关.MPPS与颗粒尺寸相配的趋势逐渐增加。沽净室过滤器主耍测试其效率和泄漏。

关键词： 洁净室 空气过滤器 容尘量 过滤器测试 空气过滤 洁净度

作者: R.Vijayakumar

作者单位: 国际空气过滤技术中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国国际过滤材料研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 19-25

在线出版日期: 2002-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）