超净气体输配管道的施工验收技术

摘要：

本文对超净气体输配管道的检测进行了探讨。文章围绕超净气体管道洁净等极的标准、终端过滤器的功用、管道系统洁净度的检查等进行了论述。

关键词： 气体输送 输送管道 管道清洁

作者: 张洪雁

作者单位: 中国航天建筑设计研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工业气体工业协会2002年年会

会议地点: 广东番禺

会议语种:中文

页码: 55-59

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）