SnO2:F透明导电薄膜的溶胶-凝胶法制备
以无机盐为出发原料,利用溶胶-凝胶法制备了F掺杂的SnO2透明导电薄膜.分别运用四脚探针和紫外-可见光分光光度计测量薄膜的方块电阻和可见光范围内的透过率.研究了不同F掺杂源、F掺杂量以及热处理温度对薄膜的制备及性能的影响,运用X-ray衍射分析了薄膜的晶体结构和晶粒尺寸,结果表明:经5mol％H2SiF6掺杂的薄膜在380℃热处理后,其性能最佳,表面电阻约为2800 Ω/□,透过率高于80％,薄膜晶粒尺寸在40.5nm左右.
透明导电薄膜 溶胶-凝胶法 二氧化锡 F掺杂 纳米技术 晶体结构
张兴旺 赵高扬
西安理工大学材料科学与工程学院,西安,710048
国内会议
西安
中文
66-70
2002-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）