微波等离子体CVD法合成纳米金刚石膜的研究
本实验以氩气逐渐取代氢气作为主要的反应气体,使用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)成功合成出纳米金刚石膜.用拉曼光谱和原子力显微镜(AFM)对金刚石膜的质量、晶粒度、表面粗糙度进行了检测.
纳米金刚石 化学气相沉积 表面粗糙度 拉曼光谱 微波等离子体
韩毅松 刘尔凯 侯亚奇 玄真武 侯立
北京天地东方超硬材料股份有限公司,北京,100018 清华大学机械工程系,北京
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120-123
2001-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)