飞秒激光脉冲在石英玻璃前后表面的所产生的光破坏及微刻蚀
笔者研究了用数值孔径0.4的显微物镜聚焦飞秒激光脉冲在空气中对石英玻璃前表面和后表面时破坏形貌和刻蚀。笔者发现在表面诱导的光破坏形貌的变化对激光束焦点的位置很敏感,并且发现在相同能量下相比在前表面,在聚焦的激光脉冲后表面的破坏区域要小,而且可以达到非常好的微加工质量。在后表面笔者最小获得了直径400nm的破坏区域。因此对于在空气中透明介质样品的微加工而言,将激光脉冲聚焦于样品后表面将成为一种可以获得高的加工质量和分辨率的方法。
飞秒激光脉冲 石英玻璃 光破坏 微刻蚀
吴朝新 蒋红兵 孙权 杨宏 龚旗煌
北京大学人工微结构和介观物理国家重点实验室
国内会议
北京
中文
527-540
2002-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）