具有亚微米分辨率的软X射线全息术

摘要：

报道了在合肥第二代同步辐射源上进行的同轴软X射线全息术.全息图用光刻胶记录,然后用原子力显微镜读出,并用数字法重现了原始图.重现图的分辨率达到了0.2微米.

关键词： 软X射线 同轴全息术 数字重现 亚微米分辨率

作者: 陈建文 蒋诗平 高鸿弈 陈敏 陆培祥 张新夷 徐至展

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所,201800 国家同步辐射实验室,中国科学技术大学,合肥,230029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2000年全国场强激光物理会议

会议地点: 广西桂林

会议语种:中文

页码: 163-171

在线出版日期: 2000-11-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）