扫描近场声显微镜用于光盘表面薄膜结构的研究

摘要：

本文介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜(SNAM),并利用该装置对CD-R光盘表面薄膜进行了检测,得到了其平整印刷面的SNAM图像,与原子力显微镜(AFM)测得的凹槽数据面形貌吻合.文中介绍了这种SNAM的结构、基本工作原理和检测方法,并给出了具体的实验结果.

关键词： 超声检测技术 扫描探针显微技术 扫描近场声显微镜 CD-R光盘膜

作者: 徐平 蔡微 余威 钱建强 姚骏恩

作者单位: 北京航空航天大学理学院,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国扫面隧道显微学学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 313-315

在线出版日期: 2006-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）