基于双压电陶瓷片的反射模式近场扫描光学显微镜

摘要：

本文介绍了一种反射模式近场扫描光学显微镜.该系统以双压电陶瓷片作为控制光纤探针与待测样品之间距离的核心元件,以粘有光纤探针的双压电陶瓷片的第一个谐振频率来驱动光纤探针平行于样品表面振动,采用均方根检测电路测量振动信号的幅度,进而控制光纤探针与样品之间的距离在样品表面的近场范围之内.利用该系统获得了标定光栅和刻录光盘薄膜等样品表面的剪切力形貌图像和反射模式近场光学图像.

关键词： 近场扫描光学显微镜 双压电陶瓷片 剪切力检测 反射模式

作者: 蔡微 徐平 钱建强 李渊 姚骏恩

作者单位: 北京航空航天大学理学院物理系,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国扫面隧道显微学学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 293-297

在线出版日期: 2006-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）