真空浇铸制备高纯多晶硅

摘要：

本文对采用真空感应熔炼浇铸法直接由工业硅制取多晶硅锭进行了探讨。本研究利用金相显微镜、电子探针和电感耦合等离子体发射光谱仪对制得的样品进行了金相组织、杂质分布以及纯度分析，探索了工业硅的真空感应熔炼浇铸凝固工艺,成功地制得了高纯多晶硅锭。相较于传统高纯硅的制备方法,具有环境污染轻,能耗低,效率高等特点。

关键词： 多晶硅锭 真空浇铸 定向凝固

作者: 张剑 马小东 张忠涛 李廷举

作者单位: 大连理工大学,大连,116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007”第十八届东北三省四市铸造学会年会、第十三届全国铸钢及熔炼学术年会、第二届吉林·铸造及相关企业厂长(经理)经验技术交流会暨吉林省铸造协会第三次年会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 136-138

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）