平面工艺半导体Si探测器的研制

摘要：

叙述了用平面工艺研制用于核物理实验和空间带电粒子探测的半导体Si探测器的制备工艺、技术,并给出了性能测试及应用的部分结果.

关键词： 平面工艺 半导体探测器 带电粒子 性能测试

作者: 谭继廉 靳根明 段利敏 卢子伟 袁小华 田大宇 宁宝俊 王玮 张录

作者单位: 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 北京大学微电子所,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年全国核仪器应用核探测技术核测量方法学术会议

会议地点: 贵州安顺

会议语种:中文

页码: 108-111

在线出版日期: 2007-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）