微阵列轴孔的电火花和电化学组合加工工艺研究

摘要：

对微细阵列轴孔的电火花、微细电化学组合加工工艺进行了分析和研究.用微细电火花线切割加工机床加工出3×3至10×10系列方形阵列电极,宽度在25μm-90μm, 在此过程中采用降低加工电压、加工电流、进给速度和减小工作液冲击等方法,获得了质量较好的阵列电极.利用该系列阵列电极分别利用微细电化学加工和微细电火花加工两种工艺方法进行阵列孔加工,并在加工过程中采用适度间歇抬刀、超声振动、循环流动工作液等方法较好地解决了微弧放电、排屑、加工区温度过高等等难题,获得了质量较好的大小在30μm-100μm相应的阵列孔.从而实现了大规模微细阵列轴孔的电火花、微细电化学组合加工,为大规模微细阵列轴孔的加工开辟了高效可行的新工艺方法.

关键词： 微细加工 电化学加工 阵列电极 阵列孔 电火花加工 微阵列轴孔

作者: 翁明浩 王振龙

作者单位: 哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届十省区市机械工程学会科技论坛暨黑龙江省机械工程学会2007年年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 366-368

在线出版日期: 2007-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）