球形二氧化硅微粉制备新技术及应用研究

摘要：

以高频等离子体固相法制备球形硅微粉较之火焰法、化学法、等工艺具有无污染、效率高、流程短、易于控制等特点,代表了当今高新技术的发展方向.高纯、超细球形硅微粉是制约我国21世纪微电子及高新技术产业发展的瓶颈,目前全部依赖进口,对其产业化和应用研究刻不容缓.

关键词： 二氧化硅 等离子体固相法 制备工艺 球形硅微粉 产业化

作者: 邱富仁

作者单位: 江苏省连云港市晶瑞石英工业开发研究院,连云港市,222004

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国玻璃行业年会暨技术研讨会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 378-380

在线出版日期: 2006-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）