CVD金刚石薄膜的宏观织构与显微组织研究

摘要：

本文对直流电弧等离子喷射化学气相沉积法(CVD)制备的自支撑金刚石薄膜,用X射线衍射测量了薄膜宏观织构,用扫描电镜观察了薄膜显微组织.发现金刚石薄膜的宏观织构为”110”、”111”、”112”和”221”等纤维织构;实验结果表明,金刚石薄膜比较致密并且晶形比较完整,不同生长因子对应不同立方体-八面体几何形状.分析和讨论了金刚石薄膜的制备工艺参数如衬底温度和甲烷浓度对其宏观织构和显微组织产生影响.

关键词： 金刚石薄膜 宏观织构 显微组织 化学气相沉积法

作者: 陈冷 张建升 毛卫民

作者单位: 北京科技大学材料学系,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国体视学与图像分析学术会议

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 251-254

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）