m面蓝宝石衬底上ZnO外延薄膜的性能研究

摘要：

本文采用自行研制的CVD设备在m面蓝宝石衬底上成功生长了微米级的ZnO外延薄膜.采用X射线衍射(XRD)和双晶X射线摇摆曲线(DXRD)研究了所生长ZnO薄膜的结构特征.利用扫描电子显微镜(SEM)观测了ZnO样品的截面,并测得了其厚度.同时利用室温光致发光(PL)谱及霍尔(Hall)测试研究了ZnO外延薄膜的光学性质和电学性质.

关键词： m面蓝宝石 ZnO外延薄膜 微米级 蓝宝石衬底 X射线衍射

作者: 崔军朋 段垚 王晓峰 曾一平

作者单位: 中国科学院半导体研究所新材料部,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 512-515

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）