不同晶面蓝宝石和氧源对氧化锌薄膜生长的影响
本文在c面和r面蓝宝石上用氧气和甲醇作为氧源分别沉积了ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对ZnO薄膜综合表征.证实了r面蓝宝石的表面能比c面的小,更有利于增原子的迁移,从而实现ZnO的二维生长.发现甲醇作为氧源生长的薄膜晶体质量跟氧气作为氧源的相比有较大提高,这可能源于预反应的减弱和甲醇的表面活化作用.在r面蓝宝石上用甲醇作为氧源生长出了表面平整的ZnO单晶薄膜,其(10-12)面的非对称衍射的摇摆曲线半高宽仅0.10度.
蓝宝石 甲醇 XRD SEM 氧化锌薄膜
张攀峰 魏鸿源 范海波 丛光伟 杨少延 刘祥林 朱勤生
中国科学院半导体研究所材料开放实验室,北京,100083
国内会议
广西北海
中文
494-498
2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）