ZnO-MOCVD水平反应室几何结构的模拟研究
本文采用基于计算流体力学(CFD)的数值计算方法,对自制的生长ZnO的MOCVD(金属有机物化学气相淀积)反应室内的流场进行了三维数值模拟和分析.数值模拟采用有限体积差分方法对系统的控制方程进行离散.通过解决流体的能量,动量,质量和物种守恒方程,本文主要研究了气体入口的倾斜角度对衬底表面淀积的ZnO的分布的影响,并研究了不同的衬底位置对生长速率的影响.计算结果给ZnO-MOCVD系统结构的优化提供了一个有力的参考依据.
ZnO MOCVD 数值模拟 计算流体力学
刘松民 顾书林 朱顺明 叶建东 刘伟 张荣 郑有炓
江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京大学物理系,南京,210093
国内会议
广西北海
中文
469-472
2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）