气相输运法大尺寸ZnO单晶生长的传输过程控制

摘要：

本文对化学气相传输法(CVT)生长ZnO单晶的传输过程、动力学和生长机理进行了研究.分析了CVT法的传输机理、效率以及温场对传输速率和晶体生长的影响.利用气相-固相单晶成核和生长动力学理论研究了制约单晶生长速度和晶体质量的因素.我们得到的不同条件下ZnO单晶CVT生长的实验结果和现象与理论分析一致,获得了ZnO单晶生长的理想条件和高质量的大尺寸ZnO单晶材料.

关键词： 气相传输法 ZnO单晶 动力学 生长机理

作者: 魏学成 赵有文 董志远 李晋闽

作者单位: 中国科学院半导体研究所,北京市912信箱,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 463-467

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）