化学气相传输法大尺寸ZnO单晶生长模式控制

摘要：

本文分析了化学气相传输法(CVT)生长ZnO单晶的动力学、机理、模式与温度和组份过饱和蒸气压的关系.单晶生长实验给出的ZnO晶体表面形貌和生长现象与理论预计的结果一致.结果表明通过控制生长过程中的组份过饱和蒸气压、温度和化学配比可以控制ZnO单晶的二维成核生长模式,获得厚度均匀、单一晶向的高质量大尺寸ZnO单晶.

关键词： 氧化锌 生长模式 二维成核 化学气相传输法 单晶生长

作者: 赵有文 董志远 魏学成 李晋闽

作者单位: 中国科学院半导体研究所,北京市912信箱,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 457-462

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）