Li-Er共掺ZnO薄膜光致发光的研究

摘要：

本文采用脉冲激光沉积法(PLD)在SiO2/Si衬底上分别生长了单独掺铒和锂铒共掺的ZnO薄膜.为了分析比较这两种薄膜的结构、光学等性能,我们对样品先后做了XRD、FESEM、EDX、PL谱和Raman散射谱等测试.结果发现,制备得到的薄膜具有较好的c轴取向性.单掺或共掺的薄膜在850℃的高温退火处理后能观察到与Er3+的4f壳层内部跃迁相关的发光;共掺薄膜1540nm处的发光要比单掺薄膜强的多.本文将对这些现象的产生机制作一定的分析.

关键词： Li-Er共掺 ZnO薄膜 光致发光 脉冲激光沉积

作者: 朱丽萍 顾修全 叶志镇 张银珠 赵炳辉

作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 444-448

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）